前言
集创赛是国内集成电路领域最大规模高校赛事、中国高等教育学会全国高校竞赛榜单唯一入榜集成电路专业赛事,由工信部人才交流中心主办,所参加赛道由北方华创出题。比赛凑巧拿到国二、华中赛区一等奖,这个比赛奖金不多只有3000,但因此加分保研(至于读研后,就说不清这个保研是幸运还是祸害了)
概述
半导体设备产能的高低直接影响芯片加工厂的效益,而高效稳定的调度系统是保证最优产能的前提,需要满足较高的实时调度要求。其中,半导体晶圆制造设备的调度问题是一个NP-Hard问题,如果用数学规划的方法求解将会十分困难。为了找寻行之有效的调度方案,许多国内外的专家学者已经在该问题上做了大量研究,提出了一些对集束型设备调度的调度优化方法。集束型设备调度优化方法可分为运筹学方法、规则方法、多项式方法、启发式方法和智能优化方法等。总结归纳如图:
本文中采用的方法在提高算法的求解速率、模型的通用性、方案的完备性等均做了探究和解决,结果表明该调度方案是可行、有效的,可供实际生产参考。
问题概述
如图,是一种半导体晶圆的加工设备。
晶圆在其中的加工过程可以抽象为如下过程:
具体的加工要求和各项关于工艺的约束详见 ...